平面平晶是以光波干涉原理为基础，利用平晶的测量面与试件的被测量面之间所出现的干涉条纹来测量被测量面的平面度。
*平面平晶用于检定量块的研合性和平面度以仪器和量具的测量面、工作面的平面度。亦可用于检定高精度的平面零件，例如，平面光学零件、高精度平台、平板、导轨、密封件等。平面平晶特别适用于计量单位、实验室作为标准平面和样板。 

平面平晶的技术参数

平面直径d（mm）	基本参数
	1级		2级
	d范围内	2/3d范围内	d范围内	2/3d范围内
30 45 60	0.03	----	0.1	0.05
80 100 150	0.05	0.03
200 250 300	0.08 0.1 0.15	0.05 0.05 0.09	0.12 0.15 0.2	0.06 0.08 0.1