序号

检验方法

适用参数及
范围（μm）

说明

1

样块
比较法

直接目测：
R_a>2.5；
用放大镜：
R_a >
0.32～0.5；

　　以表面粗糙度比较样块工作面上的粗糙度为标准， 用视觉法或触觉法与被测表面进行比较，以判定被测表面是否符合规定；     
　　用样块进行比较检验时，样块和被测表面的材质、加工方法应尽可能一致；     
　　样块比较法简单易行，适合在生产现场使用

2

显微镜
比较法

R_a <0.32

　　将被测表面与表面粗糙度比较样块靠近在一起，用比较显微镜观察两者被放大的表面，以样块工作面上的粗糙度为标准，观察比较被测表面是否达到相应样块的表面粗糙度；从而判定被测表面粗糙度是否符合规定。此方法不能测出粗糙度参数值

3

电动
轮廓仪
比较法

R_a ：
0.025～6.3
R_z：
0.1～25

      电动轮廓仪系触针式仪器。测量时仪器触针_在被测表面上垂直于加工纹理方向的截面上，做水平移动测量，从指示仪表直接得出一个测量行程R_a值。这是R_a值测量_常用的方法。或者用仪器的记录装置，描绘粗糙度轮廓曲线的放大图，再计算R_a或R_z值。此类仪器适用在计量室。但便携式电动轮廓仪可在生产现场使用

4

光切
显微镜
测量法

R_z：
0.8～100

　　光切显微镜（双管显微镜）是利用光切原理测量表面粗糙度的方法。从目镜观察表面粗糙度轮廓图像，用测微装置测量R_z值和R_y值。也可通过测量描绘出轮廓图像，再计算R_a值，因其方法较繁而不常用。必要时可将粗糙度轮廓图像拍照下来评定。光切显微镜适用于计量室

5

干涉
显微镜
测量法

R_z：
0.032～0.8

　　干涉显微镜是利用光波干涉原理，以光波波长为基准来测量表面粗糙度的。被测表面有_的粗糙度_呈现出凸凹不平的峰谷状干涉条纹，通过目镜观察、利用测微装置测量这些干涉条纹的数目和峰谷的弯曲程度，即可计算出表面粗糙度的R_a值。必要时还可将干涉条纹的峰谷拍照下来评定。干涉法适用于精密加工的表面粗糙度测量。适合在计量室使用